유신재
유신재
소속
충남대학교 (물리학과)
AI요약
본 페이지는 충남대학교 물리학과 유신재 교수의 상세 프로필 정보를 제공합니다. 유신재 교수는 물리학 분야에서 활발한 연구 활동을 수행하며, 학계에 기여하고 있습니다. 해당 프로필을 통해 유신재 교수의 학술적 업적과 연구 방향에 대한 귀중한 통찰을 얻으실 수 있습니다. 연구자로서의 면모를 심도 있게 파악하고 싶으신 분들께 유용한 자료가 될 것입니다.
기본 정보
| 연구자 프로필 |  |
| 연구자 명 | 유신재 |
| 직책 | 교수 |
| 이메일 | sjyou@cnu.ac.kr |
| 재직 상태 | 재직 중 |
| 부서 학과 | 물리학과 |
| 사무실 번호 | 0428216539 |
| 연구실 | 응용플라즈마물리실험실 |
| 연구실 홈페이지 | http://apple.cnu.ac.kr/ |
| 홈페이지 | http://apple.cnu.ac.kr/ |
| 소속 | 충남대학교 |
경력정보
| 회사명 | 충남대학교 |
| 재직기간 | - |
| 담당업무 | 2014 - 현재 : 충남대학교 물리학과 조교수 - 부교수 |
| 회사명 | 한국표준과학연구원 |
| 재직기간 | - |
| 담당업무 | 2007 - 2014 : 한국표준과학연구원 선임연구원(우대연구원 2013~) |
| 회사명 | 포항공대 |
| 재직기간 | - |
| 담당업무 | 2006 - 2007 :포항공대 전자전기공학과 포스닥 |
| 회사명 | 카이스트 |
| 재직기간 | - |
| 담당업무 | 2005 - 2006 : 카이스트 물리학과 포스닥 |
중요 키워드
#반도체#기술이전#플라즈마#공정#공동연구#식각#진단#물리학#산학협력
연구 분야
| 연구 1 | 플라즈마 발생 및 첨단 진단 기술 개발 |
| 내용 | 본 연구실은 응용 플라즈마 물리학의 핵심 분야인 플라즈마 발생 원리 규명 및 첨단 진단 장치 개발에 중점적으로 연구를 수행하고 있습니다. 다양한 조건(저/고압)에서 플라즈마 내 전자 및 이온의 거동 특성을 심도 있게 이해하고, 이를 바탕으로 차세대 플라즈마 발생 기술을 선도하고 있습니다. 특히, Cut-off probe, Langmuir probe, LIF(Laser Induced Fluorescence), Thomson scattering 등 세계적 수준의 첨단 진단 기술을 활용하여 플라즈마 변수를 정밀하게 측정하고 분석합니다. 이러한 진단 기술은 플라즈마 밀도, 온도, 전자 에너지 분포 함수 등 핵심 변수들을 실시간으로 파악하여 플라즈마 상태를 정확히 제어할 수 있는 기반을 제공합니다. 또한, 대면적, 고밀도, 초저밀도 플라즈마원 개발을 통해 산업적 요구에 부합하는 다양한 플라즈마 발생 장치를 설계하고 최적화하는 데 기여하고 있습니다. 이러한 연구는 반도체, 디스플레이 등 첨단 산업에서 요구되는 고성능 플라즈마 장비의 개발과 공정 최적화에 필수적인 기술을 제공하며, 궁극적으로 제조 효율성 향상 및 제품 품질 고도화에 기여하고 있습니다. 정밀한 플라즈마 제어를 통해 미래 기술 발전에 핵심적인 역할을 수행하고 있습니다. |
| 연구 2 | 반도체 플라즈마 공정 최적화 및 통합 제어 기술 |
| 내용 | 본 연구실은 반도체 산업의 핵심인 플라즈마 식각(Etching) 및 박막 증착(Deposition) 공정의 한계를 극복하고, 고신뢰성 제조 환경을 구축하기 위한 플라즈마 공정 최적화 및 통합 제어 기술 연구에 주력하고 있습니다. ALE(Atomic Layer Etching), PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 등 최신 공정 기술을 연구하며, 특히 PFC(Perfluorocompound) 가스 대체용 친환경 식각 공정 개발에 선도적인 역할을 하고 있습니다. 낮은 GWP(Global Warming Potential)를 갖는 대체 가스를 활용하여 환경 부하를 줄이면서도 우수한 식각 성능을 확보하는 기술을 개발 중입니다. 또한, 극고종횡비(Ultra-High Aspect Ratio) 식각 공정의 한계를 극복하기 위한 혁신적인 접근법을 제시하고 있으며, FDC(Fault Detection and Classification), VIP(Virtual Inline Plasma), MOLE probe 등 다양한 플라즈마 센서 기술을 활용하여 공정 이상 감지 및 예방 시스템을 구축하여 반도체 제조 수율 향상에 기여합니다. 이러한 연구는 차세대 반도체 소자 개발의 핵심 난제 해결에 기여하며, 공정 안정성 및 재현성을 극대화하여 글로벌 반도체 경쟁력 강화에 중요한 가치를 창출하고 있습니다. 국내외 주요 반도체 기업들과의 협력을 통해 연구 성과를 실제 생산 라인에 적용하며 산업적 파급 효과를 확대하고 있습니다. |
| 연구 3 | 데이터 기반 플라즈마 공정 모델링 및 예측 |
| 내용 | 본 연구실은 복잡한 플라즈마 공정의 거동을 이해하고 예측하며 최적화하기 위해, 첨단 전산모사 기법과 데이터 분석을 융합한 데이터 기반 플라즈마 공정 모델링 및 예측 연구를 활발히 수행하고 있습니다. PIC(Particle-in-Cell), MCC-IED(Monte Carlo Collision-based Ion Energy Distribution), CFD(Computational Fluid Dynamics) 등 다양한 수치 해석적 방법을 활용하여 플라즈마 내 미시적 현상부터 거시적 공정 특성까지 정밀하게 시뮬레이션합니다. 이를 통해 플라즈마 발생 및 전파, 반응 부산물 형성, 이온 에너지 분포 등 핵심 공정 변수들의 시공간적 변화를 예측하고 분석합니다. 특히, 플라즈마 진단을 위한 Virtual Metrology 개발, 실시간 공정모니터링 센서 및 공정모사기술 개발 등 데이터 기반의 스마트 제조 시스템 구축에 필요한 핵심 기술을 연구합니다. 또한, 다공정 고신뢰성 Chemistry 관련 반응 DB 구축을 통해 공정 데이터를 체계화하고 활용도를 극대화하고 있습니다. 이러한 연구는 반도체 공정에서 발생하는 아킹(Arcing)과 같은 이상 현상의 발생 메커니즘을 규명하고 예보 시스템을 개발하여 생산 손실을 최소화하는 데 기여합니다. 또한, 플라즈마 공정 장비 설계를 위한 스마트 Toolbox 모듈 개발을 통해 신규 장비 개발 기간 단축 및 최적화 비용 절감에 실질적인 도움을 제공하며, 미래형 스마트 팩토리 구현을 위한 기반 기술을 마련하고 있습니다. |
학력
| 학력 사항 | 학사 : 충남대학교 물리학과 석사 : 카이스트 물리학과 박사 : 카이스트 물리학과 |
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